杨雷,姚建铨,裴红星,刘晓旻

• 1:郑州大学物理工程学院
• 2:天津大学精密仪器与光电子工程学院
• 3:郑州大学物理工程学院
• 4:郑州大学物理工程学院 郑州450052

摘要(Abstract)：

设计了激光微加工系统中的运动控制系统,探讨了系统的组成、设计与实现.系统由目标值设定器、数字控制器、运动执行机构和位置检测用光栅尺构成.文中重点讨论了闭环运动控制系统中控制目标值的形成、执行机构X Y平台的模型以及运动控制的算法等问题,控制精度达2μm.

关键词(KeyWords)： 激光微加工;运动控制;XY平台;光栅尺

Abstract:

Keywords:

基金项目(Foundation):

作者(Author): 杨雷,姚建铨,裴红星,刘晓旻

参考文献(References)：

• [1]　阮秋琦.数字图像处理学[M].北京:电子工业出版社,2000.
• [2]　吴　麒.自动控制原理[M].北京:清华大学出版社,1998.
• [3]　于海生.微型计算机控制技术[M].北京:清华大学出版社,2001.